据中国政府采购网公示，上海微电子装备 （集团） 股份有限公司中标步进扫描式光刻机项目，成交金额 1.1 亿元，招标方为科学技术部。据悉，上海微电子已于今年 5 月官宣实现 90nm ArF 光刻机量产。
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光刻机迎大消息，关注半导体设备 ETF 易方达 （159558） 与科创人工智能 ETF（588730） 投资价值
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