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编者按：筚路蓝缕敲钟成，上下求索知路远。这是一档针对科创领域领袖人物的访谈节目。他们有哪些少为人知的传奇经历？企业经营过程中，他们的心路历程有何变化？《对话科创家》 与您一起探寻，以期远眺未来。
本期，《对话科创家》 栏目的嘉宾是盛美上海 CEO 王坚。
《科创板日报》4 月 7 日讯 （记者 曾乐 陈俊清） 上海集成电路产业冲刺世界级产业集群的关键阶段，一家扎根张江的半导体设备企业始终站在产业前沿——从打破海外技术垄断到科创板硬科技标杆，再到成长为全品类平台型龙头，盛美上海的发展轨迹，正是上海集成电路产业从追赶到引领的缩影。
近日，盛美上海 CEO 王坚接受 《科创板日报》 记者专访，解码了这家企业以差异化创新破局全球半导体寡头格局，助力上海打造世界级集成电路产业集群的实践与思考。
▍差异化创新突围，打破海外寡头垄断
全球半导体设备行业技术壁垒高筑，泛林半导体、应用材料和东京电子等国际巨头长期垄断市场，国内企业面临技术封锁、市场准入难等多重挑战，而盛美上海却走出了一条独有的突围之路：以客户痛点为导向，坚持全球首创的差异化创新，筑牢核心技术壁垒。
王坚表示，盛美上海的核心竞争力扎根于两大全球领先技术平台——半导体清洗设备与先进电镀设备。清洗领域，自主研发的 SAPS/TEBO 兆声波清洗技术为全球首创，2009 年获海力士认可，并于 2011 年拿下海外订单，一举打破海外厂商在高端清洗设备领域的长期垄断；电镀领域，掌握多阳极局部电镀等三大核心技术，能有效提升芯片良率、降低客户成本，形成难以复制的技术优势。
立足核心技术，这家企业持续推进创新迭代，加速平台化产品布局，彻底摆脱核心技术对外依赖。
近期，三款面板级先进封装新设备接连推出，全球首创的负压清洗设备实现客户端量产；自主研发的高产出 KrF 涂胶显影设备交付头部逻辑晶圆厂，填补国内相关领域部分空白。2025 年，立式炉管、Track 涂胶显影等设备陆续推向市场，进入客户验证与放量阶段——其中，KrF 涂胶显影设备晶圆处理产能达每小时 300 片，处于行业较高水平；1250℃的 Ultra Fn 立式炉管设备在高端 IGBT 领域实现突破，市场反馈极佳，下一代产品已规划将处理能力提升至 1350°C。
「我们的核心竞争力，根源就是持续围绕客户实际痛点开展原创性技术研发。」 王坚强调，这些自主研发的新设备，不仅丰富了产品线、强化了平台化优势，更能精准匹配国内晶圆厂、封测厂的本土化需求，成为国产半导体设备进口替代的重要力量。
▍平台化+全球化，打造行业标杆企业
坚守 「技术差异化、产品平台化、客户全球化」 战略，盛美上海已构建起覆盖清洗、电镀、先进封装湿法设备，以及立式炉管、涂胶显影、PECVD 等多领域的全场景产品矩阵，且所有设备均拥有全球自主知识产权，成为国内半导体设备领域的标杆企业。
2025 年年报数据，印证了这家企业的发展韧性：全年营业总收入 67.86 亿元，同比增长 20.80%；归母净利润 13.96 亿元，同比增长 21.05%，营收与利润同步稳健增长。从收入结构看，半导体清洗设备占比 69.28%，仍是核心支柱；电镀、立式炉管等其他半导体设备占比 25.54%，成为第二增长曲线；先进封装湿法设备占比 5.18%，稳步增长。
在全球市场，这家张江企业也站稳了脚跟：电镀设备国际市占率 8.2%，全球排名第三；清洗设备国际市占率 8.0%，全球排名第四。产品渗透上，清洗设备实现产线 95% 应用场景全覆盖，部分客户采购占比超 50% 电镀设备实现 100% 场景全覆盖，适配前道制造、后道封装等多环节，成为营收增长重要支撑。
海外布局步伐也在加快。2025 年，四台设备进入美国市场；2026 年，产品落地新加坡，中国台湾、韩国等重点市场开拓同步推进。「2026 年海外开拓速度会明显快于去年，全球化营收占比有望进一步提升。」 王坚说。
当前，企业平台化布局进入 「市场放量」 关键期。
王坚透露，2026 年将实现清洗设备 「种类、工艺双全覆盖」，提升先进工艺市场占有率；Track 涂胶显影、立式炉管等新产品，将成为未来核心业绩增长点。中长期，企业将从 「多点布局」 转向 「关键领域建立绝对优势」，计划将清洗、电镀产品中国市场份额提升至 50%-60%，并依托全球首创的面板级水平式先进封装电镀设备，布局下一代先进技术，抢占产业高地。
▍锚定四大方向，助力上海打造世界级集群
上海市经信委数据显示，2025 年上海集成电路产业规模预计突破 4600 亿元，稳居全国首位，顺利实现规模翻番。面向 「十五五」，上海正全力冲刺世界级集成电路产业集群，而盛美上海作为本土龙头，始终与产业同频共振。
在王坚看来，上海集成电路产业的核心优势，在于全产业链协同与各界联动协同——上海是国内唯一覆盖芯片设计、晶圆制造、设备、材料等全环节的城市，形成闭环式产业生态；政府、高校、科研院所、资本等多方发力，为产业提供全方位支撑。而打造世界级集群，本土龙头企业的引领作用至关重要，核心要坚持差异化创新、发挥 「链主」 作用、营造保护创新的行业生态。
作为深耕上海的半导体设备龙头，盛美上海已制定清晰规划，从四大方向赋能上海产业高质量发展：持续深耕差异化创新，推进平台化产品技术迭代，攻克更多高端设备核心技术；加速全球化布局，以产品出海提升上海半导体设备产业的全球影响力；深化产学研协同，与本地高校、科研院所合作培养高端人才，带动上下游配套企业成长，助力产业链自主可控；筑牢知识产权保护屏障，布局核心专利，呼吁行业重视创新保护，营造良性生态。
同时，王坚也客观指出，上海集成电路产业打造世界级集群，仍需正视短板。目前，行业部分高端零部件、关键材料仍依赖进口，这是核心痛点；集成电路领域高端研发人才、复合型管理人才依旧紧缺。
对此，王坚表示，上海盛美将主动助力国产零部件、材料的开发与验证，开放设备应用场景与测试机会，推动本土化配套升级，同时建议上海进一步优化人才平台，深化校企联合培养，打通技术成果转化梗阻，让实验室技术快速转化为市场化产品，助力上海集成电路产业实现长远高质量发展。
