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5 月 15 日,芯片产业链走势分化,上游设备股逆势上涨。截至收盘,中证半导体材料设备主题指数上涨 4.4%,中证芯片产业指数下跌 0.6%,上证科创板芯片指数下跌 1.7%,上证科创板芯片设计主题指数下跌 3.7%。Wind 数据显示,截至昨日,科创芯片 ETF 易方达 (589130,联接基金 A/C:020670/020671) 连续 5 个交易日获资金净流入,合计超 3 亿元。