截至8月22日收盘,上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨6.99%,成分股盛美上海涨停,京仪装备上涨14.39%,中芯国际上涨14.19%,芯源微,富创精密等个股跟涨。科创半导体ETF(588170)上涨7.02%,最新价报1.22元。