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截至 2025 年 5 月 21 日 11:09，中证半导体材料设备主题指数下跌 0.61%。成分股方面涨跌互现，天岳先进领涨 5.53%，有研新材上涨 3.94%，沪硅产业上涨 2.38%；金海通领跌 3.86%，中科飞测下跌 3.49%，江化微下跌 2.77%。半导体材料 ETF(562590) 下跌 0.65%，最新报价 1.07 元。流动性方面，半导体材料 ETF 盘中换手 1.03%，成交 327.99 万元, 盘中溢价频现。
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